欢迎来到上海瓷熙仪器仪表官网 | 精密流体测量解决方案领导者官网!
行业资讯

当流动无需阀门:陶瓷无阀泵如何成为半导体与生物制药的“洁净心脏”

2026-01-15 13:17:20 小编

ScreenShot_2026-01-15_132115_395.png

在半导体芯片的刻蚀清洗与生物制药的细胞培养中,输送流体的泵,其自身的“洁净度”与“可靠性”已成为决定工艺成败的关键。传统隔膜泵或柱塞泵的机械阀结构,在启闭间易产生颗粒、滋生细菌、且存在磨损泄漏风险。全陶瓷无阀泵的创新,正是直面这一系列痛点。

技术前沿突破在于“去阀化”设计与“材料至上”。技术上,它摒弃了所有机械阀,依靠独特的泵腔流道与转子设计,利用流体本身的动力学特性实现定向输送。这彻底消除了阀件磨损、卡死及因阀动作产生的脉冲,实现了真正平稳、脉动极低的流量。材料上,采用高纯度、高密度氧化锆或氧化铝陶瓷,其硬度仅次于金刚石,具有卓越的耐磨、耐腐蚀特性,且陶瓷天生的生物惰性与极低金属离子析出率,满足了半导体超纯化学品和生物制品对零污染的苛刻要求。

市场需求的爆发直接源于两大高端产业的升级。在半导体领域,随着制程进入纳米级,对湿法工艺中化学品输送的纯净度、稳定性和耐腐蚀性要求呈指数级上升。在生物制药领域,细胞与基因治疗(CGT)的兴起,要求在生产中完全避免外来杂质和剪切力对活性细胞的损伤。陶瓷无阀泵的平缓输送特性,使其成为细胞培养、培养基添加等关键步骤的理想选择,市场正从实验室向大规模生产快速渗透。