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CX-PRN410 冷阴极真空规

反置磁控型皮拉尼冷阴极复合真空计,适用于1.010⁻⁵ Pa至1.010⁵ Pa量程,支持模拟输出、数字通讯与可编程控制开关。

防护等级 IP40
重量 约310g
响应时间 < 100 ms
测量范围 1.0×10⁻⁵ Pa ~ 1.0×10⁵ Pa
精度 ±20% ~ ±50%(分段)
产品描述
型号规格
技术参数
应用领域

产品简介

PRN410 是一款集成功能型全量程真空计,采用皮拉尼与冷阴极复合测量技术,覆盖从低真空至高真空的广泛测量范围。设备具备模拟电压输出、数字通讯接口及可编程控制开关,适用于工业现场、实验室及自动化系统中的真空度监测与控制。

核心功能

可编程控制开关

2路独立可设置控制点,可通过软件设定启停阈值,支持高于或低于设定值触发。

多种通讯接口

标配模拟电压输出(0~10 VDC),可选RS485 Modbus-RTU数字通讯,支持与PLC、PC等设备连接。

气体组分校正

提供多种气体校准因子,支持空气、氮气、氦气、氢气等不同气体环境的精确测量。

校准与维护

设备支持一键自动校准,用户可在常压或高真空环境下按下校准按钮完成皮拉尼部分的校准。冷阴极部分具备自动跟踪功能,长期稳定性好。设备结构支持定期清洗,维护方便。

PRN410 系列型号规格

PRN410 系列提供两种主要型号,分别对应不同电气接口和功能配置,用户可根据系统集成需求选择。

型号电气接口显示方式控制开关通讯方式适用场景
PRN410BRJ45 (FCC-68)无显示模拟输出 (0-10 VDC)集成至PLC/DCS系统
PRN410ADB9 (D-Sub 9针)可选5位LED显示可选2路可编程开关模拟输出 + RS485 Modbus-RTU独立仪表或通讯集成

注: PRN410A 为全功能可配置型号,用户可根据实际需求选择是否配备数字显示、控制开关及通讯功能。

电气接口定义

PRN410B (RJ45接口) 针脚定义

针脚定义说明
1+24 VDC供电正极
2电源GND供电地
3测量信号模拟电压输出 (0-10 V)
4识别电阻真空计识别
5信号地模拟输出地
6未使用
7NC未连接
8NC未连接

PRN410A (DB9接口) 针脚定义

针脚定义说明
1电源GND供电地
2设定值输出A控制开关1输出
3设定值输出B控制开关2输出
4模拟量输出0-10 V模拟输出
5RS485 D- (B)Modbus数据线-
6+24 VDC供电正极
7RS485 D+ (A)Modbus数据线+
8信号地模拟输出地
9NC未连接

可选功能说明

5位LED数字显示

实时显示真空度数值,支持Pa、Torr、mBar单位切换,适用于现场读数需求。

2路可编程控制开关

独立可设置的控制点,阈值范围2.0×10⁻⁶ Pa ~ 9.9×10⁴ Pa,支持常开/常闭逻辑。

RS485 Modbus-RTU通讯

支持多点通讯,波特率9600 bps,可实时读取真空度、设置参数及执行校准。

真空连接方式

标准连接

DN25 ISO-KF法兰 – 标配接口,适用于多数真空系统。

定制连接

支持CF、NW、螺纹等接口定制,可适配特殊系统需求。

选型建议

应用场景推荐型号推荐配置理由
PLC/DCS系统集成PRN410B标配 (无显示/无开关)直接接入模拟输入模块,成本较低
独立仪表或调试PRN410A+ LED显示 + 控制开关便于现场观察与控制,无需上位机
自动化系统PRN410A+ RS485通讯 + 控制开关支持远程监控与逻辑控制
高精度实验系统PRN410A全选配置功能完整,支持数据记录与多路控制

温馨提示:如需特殊气体校准、非标接口或其他定制需求,请联系我们的技术团队获取定制化解决方案。

主要技术参数

防护等级 IP40
重量 约310g
响应时间 < 100 ms
测量范围 1.0×10⁻⁵ Pa ~ 1.0×10⁵ Pa
精度 ±20% ~ ±50%(分段)
重复性 ±5% ~ ±25%(分段)
工作环境 0℃ ~ +45℃,5% ~ 85% RH(不结露)
存储环境 -40℃ ~ +75℃,5% ~ 90% RH(不结露)
信号输出 模拟量 0~10 VDC;可选RS485 Modbus-RTU;2路控制开关
供电电源 24 VDC ±5%,功耗 ≤ 2.5 W
真空连接 DN25 ISO-KF(默认),其他可定制
接触材质 SS304不锈钢、Kovar 4150、钨丝、馈通玻璃

注:以上参数为标准配置,可根据客户需求定制特殊规格产品。

典型应用领域

半导体制造

用于PVD、CVD、刻蚀等工艺腔体的真空度监测。

实验室研究

适用于真空实验、材料表面分析、真空镀膜等科研场景。

真空设备配套

集成于真空泵机组、真空炉、干燥设备等作为监测仪表。

制药与生物工程

用于冻干机、灭菌柜、隔离器等设备的真空控制。

航天与真空模拟

适用于空间环境模拟、真空测试台等高性能真空系统。

工业自动化

集成于PLC/DCS系统,实现真空过程的自动控制与记录。

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