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复合真空计/真空规

提供复合真空计/真空规,集成皮拉尼与电离两种测量原理,实现从粗真空到高真空的宽量程连续测量。测量范围可达1E-5~1E+5Pa,响应快、精度高,适用于真空镀膜、半导体、科研等领域。了解型号与参数。

CX-PRN15 热阴极真空计

CX-PRN15 热阴极真空计

CX-PRN15热阴极真空计,集成皮拉尼与热阴极技术,测量范围1×10⁻⁵~1×10⁵Pa,响应<100ms。配备5位LED显示、两路可编程控制开关、RS485通讯及模拟输出,适用于半导体、真空镀膜、科研等高真空测量场景。

<100ms
反应时间
450 g
重量
1.5×10⁵Pa
耐压
CX-PRN14 冷阴极真空计

CX-PRN14 冷阴极真空计

CX-PRN14冷阴极复合真空计,集成皮拉尼与反置磁控冷阴极技术,测量范围1×10⁻⁵~1×10⁵Pa,响应<100ms。配备5位LED显示、两路可编程控制开关、RS485及模拟输出,适用于真空镀膜、半导体、真空炉等工业与科研场景。

空气/N₂
测量范围
<100ms
反应时间
KF25
真空接口
CX-PRN410 冷阴极真空规

CX-PRN410 冷阴极真空规

CX-PRN410全量程真空规,集成皮拉尼与冷阴极技术,测量范围1×10⁻⁵~1×10⁵Pa。提供RJ45与DB9接口可选,支持模拟输出、RS485通讯及可编程控制开关,便于PLC/DCS系统集成。适用于半导体、自动化设备、真空系统配套等场景。

IP40
防护等级
约310g
重量
< 100 ms
响应时间
CX-PRN11 薄片电阻真空规

CX-PRN11 薄片电阻真空规

CX-PRN11复合真空计,集成MEMS压电与皮拉尼传感器,实现从5.0×10⁻² Pa到大气压的连续测量,响应快,支持双控制点输出。适用于真空锁、真空炉等需宽量程监测的场景。

±1%
重复性
0~50℃
环境温度
KF16
真空接口