结合多种测量技术的真空测量设备，覆盖从低真空到高真空的广泛测量范围。
集成皮拉尼与热阴极技术，量程覆盖 1.0×10⁻⁵ Pa 至 1.0×10⁵ Pa
提供两路独立可设定的控制开关，支持真空度阈值控制
支持模拟电压输出、RS485 Modbus-RTU 通讯
5位LED数字显示，单位可选，支持按键设置参数与校准
CX-PRN15 是一款集成皮拉尼（Pirani）与热阴极（Hot Cathode）技术的宽量程真空计，适用于从高真空到低真空的连续测量。该产品具备独立的真空计功能，带有5位LED数字显示，支持按键设置参数、两路可设置控制开关、模拟电压输出及RS485通讯（Modbus-RTU协议）。
集成皮拉尼（1.0×10⁰ ~ 1.0×10⁵ Pa）与热阴极（1.0×10⁻⁵ ~ 1.0×10⁰ Pa）技术，实现宽范围连续测量。
提供两路独立可设置的控制开关，可通过按键或通讯设置切换点，适用于真空系统自动控制。
支持模拟电压输出（0-10 VDC）、RS485 Modbus-RTU 通讯。
CX-PRN15 采用皮拉尼与热阴极复合传感器技术。皮拉尼部分基于热传导原理，适用于中低真空测量；热阴极部分基于电离原理，适用于高真空测量。两者通过智能算法自动切换，实现全量程连续测量。
D-Sub 9针母头焊接侧引脚定义如下：
| 引脚 | 信号 | 说明 |
|---|---|---|
| 1 | 电源 GND | 电源地 |
| 2 | 电源 +24VDC | 直流24V正极 |
| 3 | 模拟量 GND | 模拟输出地 |
| 4 | 模拟量输出 | 真空度对应电压输出（0-10 VDC） |
| 5 | 控制点输出 A | 控制开关A输出 |
| 6 | 控制点输出公共点 | 控制开关公共端 |
| 7 | 控制点输出 B | 控制开关B输出 |
| 8 | RS485 D- | RS485通讯数据- |
| 9 | RS485 D+ | RS485通讯数据+ |
模拟电压输出与真空压强的关系为：
P = 101.222(U - C) 或 U = C + 0.818·log₁₀(P)
其中：
设备顶部设有3个按键：FN、►（向前）、▼（向下）。
两路独立控制开关可在1.0×10⁻¹ Pa ~ 9.9×10⁴ Pa范围内设置切换点。当真空压强低于设定值时输出“ON”，高于设定值110%时输出“OFF”。
测量结果受气体组分影响，出厂以干燥空气/氮气校准。其他气体需乘以校正因子C：
| 气体类型 | 校正因子 C |
|---|---|
| 空气、O₂、CO | 1.0 |
| N₂ | 1.0 |
| He | 5.9 |
| Ne | 4.1 |
| H₂ | 2.4 |
| Ar | 0.8 |
| Kr | 0.5 |
| Xe | 0.4 |
CX-PRN15 系列提供多种配置选项，可根据接口类型和电控功能进行选型，满足不同应用需求。
| 参数 | 规格 | 备注 |
|---|---|---|
| 测量范围（空气, N₂） | 1.0×10⁻⁵ ~ 1.0×10⁵ Pa | 集成皮拉尼+热阴极技术 |
| 精度 | 1.0×10⁻⁵ ~ 1.0×10⁻⁴ Pa：±35% 1.0×10⁻⁴ ~ 1.0×10⁴ Pa：±30% 1.0×10⁴ ~ 1.0×10⁵ Pa：±50% | 基于空气/N₂校准 |
| 重复性 | 1.0×10⁻⁵ ~ 1.0×10³ Pa：±5% 1.0×10⁻³ ~ 1.0×10⁵ Pa：±25% | - |
| 耐压（绝对压力） | 1.5×10⁵ Pa | 最大允许压力 |
| 反应时间 | < 100 ms | - |
| 工作温度 | 0°C ~ +45°C | 湿度5~85%，不结露 |
| 存储温度 | -40°C ~ +75°C | 湿度5~90%，不结露 |
| 供电电源 | 24 VDC ±5% / 0.5A | 整机最大功耗 12.0W |
| 信号输出 | 5位LED显示（Pa/Torr/mBar） RS485 Modbus-RTU 0~10 VDC模拟输 | - |
| 控制开关 | 2路独立可设置开关 | 切换范围：1.0×10⁻¹ ~ 9.9×10⁴ Pa |
| 防护等级 | IP40 | IEC529标准 |
| 真空接口 | 默认：DN25 ISO-KF | 其他接口可定制 |
| 接触真空材料 | SS304不锈钢，Kovar 4150，钨丝，馈通玻璃 | - |
| 重量 | 450g（标准KF25法兰） | - |
| 尺寸（H×W×D） | 130×60×50 mm | 包括KF25法兰 |
测量结果受气体组分影响，出厂以干燥空气/氮气校准。其他气体需乘以校正因子C：
| 气体类型 | 校正因子 C | 实际压力 Peff = C × 显示压力 |
|---|---|---|
| 空气、O₂、CO | 1.0 | 与显示值相同 |
| N₂ | 1.0 | 与显示值相同 |
| He | 5.9 | 显示值×5.9 |
| Ne | 4.1 | 显示值×4.1 |
| H₂ | 2.4 | 显示值×2.4 |
| Ar | 0.8 | 显示值×0.8 |
| Kr | 0.5 | 显示值×0.5 |
| Xe | 0.4 | 显示值×0.4 |
根据您的应用需求选择合适的型号配置：
| 应用场景 | 推荐配置 | 推荐理由 |
|---|---|---|
| 实验室科研设备 | CX-PRN15A00（KF25） | 接口通用，功能完整，适合多种实验需求 |
| 工业真空系统集成 | CX-PRN15B01（KF40） | 大口径接口，成本优化 |
| 超高真空设备 | CX-PRN15C00（CF25） | CF法兰密封性好，适合高真空环境 |
| 远程监测应用 | CX-PRN15A00（标准配置） | 支持远程数据采集 |
| 成本敏感型应用 | CX-PRN15A02（KF25 + 基础功能） | 精简功能，满足基本测量需求 |
| 半导体制造设备 | CX-PRN15D00（CF35 + 全功能） | 大尺寸CF法兰，适合工艺腔体集成 |
温馨提示：以上为常规推荐配置，如需特殊定制（如其他真空接口、特殊材料、扩展功能等），请联系我们的技术工程师提供定制化解决方案。
注意事项：对于混合气体或蒸汽环境，建议使用残余气体分析仪（RGA）进行精确分压强测量。
| 反应时间 | <100ms |
|---|---|
| 重量 | 450 g |
| 耐压 | 1.5×10⁵Pa |
| 测量范围 | 1.0×10⁻⁵ Pa ~ 1.0×10⁵ Pa |
| 防护等级 | IP40（IEC529） |
| 精度 | 1.0×10⁻⁵ ~ 1.0×10⁻⁴ Pa：±35% 1.0×10⁻⁴ ~ 1.0×10⁴ Pa：±30% 1.0×10⁴ ~ 1.0×10⁵ Pa：±50% |
| 重复性 | 1.0×10⁻⁵ ~ 1.0×10³ Pa：±5% 1.0×10⁻³ ~ 1.0×10⁵ Pa：±25% |
| 工作环境 | 0℃ ~ +45℃；湿度 5% ~ 85%，不结露 |
| 存储环境 | -40℃ ~ +75℃；湿度 5% ~ 90%，不结露 |
| 真空接口 | 默认 DN25 ISO-KF，其他接口可定制 |
| 接触真空材料 | SS304不锈钢、Kovar 4150、钨丝、馈通玻璃 |
注：以上参数为标准配置，可根据客户需求定制特殊规格产品。
CX-PRN15 适用于多种需要宽范围、高可靠性真空测量的工业与科研场合：
用于PVD、CVD、刻蚀等工艺腔体的真空度监测
适用于真空镀膜、材料分析、表面科学等实验室装置
用于真空烧结、钎焊、退火等工艺的真空控制
用于冻干机、灭菌柜、生物反应器的真空监测
用于医用真空泵、吸引装置、消毒设备的真空控制
适用于包装、注塑、电子束焊接等行业的真空监测
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