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CX-PRN14 冷阴极真空计

集成皮拉尼与冷阴极技术,适用于从低真空到高真空的全量程精密测量。

测量范围 空气/N₂
反应时间 <100ms
真空接口 KF25
真空范围 1.0×10⁻⁵ ~1.0×10⁵ Pa
环境温度 0℃ ~ +45℃
产品描述
型号规格
技术参数
应用领域

产品概述

CX-PRN14 是一款集成皮拉尼(Pirani)与冷阴极(Cold Cathode)技术的复合真空计,实现了从低真空到高真空的全量程连续测量。该产品采用反置磁控型结构,具有响应快、稳定性好、使用寿命长等特点,适用于需要宽范围、连续、精确真空监测的工业过程与实验室环境。

核心功能

双技术复合

皮拉尼技术覆盖中低真空(1E+5 Pa ~ 1E-1 Pa),冷阴极技术覆盖高真空(1E-1 Pa ~ 1E-5 Pa),自动切换,无缝衔接。

5位LED显示

清晰显示当前真空度,单位可在Pa、Torr、mBar之间切换,支持科学计数法与浮点数显示。

可编程控制点

提供两路独立可设置的控制开关(光耦输出),可通过面板按键或通讯设定触发真空度阈值,用于联锁控制或报警。

工作原理

CX-PRN14 集成了两种经典的真空测量原理:

  • 皮拉尼原理(热传导): 适用于中低真空范围。通过测量加热灯丝在气体中的热损失(与气体分子密度相关)来间接测量压力。
  • 冷阴极电离原理(潘宁放电): 适用于高真空范围。在强磁场和电场作用下,气体分子被电离,离子电流与气体压力成正比。

仪器内部智能判断当前压力范围,自动选用最佳测量原理,确保在整个量程内都具有良好的线性与精度。

通讯、控制与集成

CX-PRN14 提供丰富的接口与灵活的配置方式,便于集成到各类自动化系统中。

1. 模拟电压输出

通过DB9连接器的Pin4(模拟输出)和Pin8(模拟地)输出与当前真空度成正比的直流电压(0.0V ~ +10.0VDC)。电压与压力(Pa)的换算关系为:U = C + 0.818 * lg(P),其中C为常数(Pa模式:5.909)。该信号可直接接入PLC的模拟量输入模块。

2. 数字通讯 (RS485 Modbus-RTU)

通过DB9的Pin9(D+)和Pin5(D-)进行通讯。支持标准Modbus-RTU协议,可读取实时真空度(科学计数法或浮点格式)、读取/设置控制点阈值、执行校准命令等。最多支持16个地址组网(通过拨码开关设置)。

3. 可编程控制开关

内置两路独立的控制开关(光耦输出,Pin2和Pin3)。用户可通过面板按键或通讯接口,设置其动作的真空度阈值(范围:1.0E-1 Pa ~ 9.9E+4 Pa)。当真空度低于设定值时输出“ON”,高于设定值的110%时输出“OFF”,可用于触发外部继电器、报警器或连锁设备。

4. 与控制器连接

可直接与WGC150系列真空计控制器连接,实现多通道集中显示与控制,适合集成到控制柜中。

型号配置选择

CX-PRN14 提供多种型号配置,可根据您的应用需求选择不同的真空接口和电控配置。

产品型号真空接口电控配置描述
CX-PRN14 A00KF25标准全配置包含LED数码显示、RS485、模拟输出、控制开关等全部功能
CX-PRN14 B00KF40标准全配置KF40接口,包含全部功能,适用于更大流量的真空系统
CX-PRN14 C00CF25标准全配置CF25法兰接口,适用于超高真空系统
CX-PRN14 D00CF35标准全配置CF35法兰接口,适用于更大口径的超高真空系统

注: 以上为标准型号,如需特殊配置(如不同电源电压、特殊信号输出等),请联系我们的技术支持团队进行定制。

型号编码说明

CX-PRN14 型号采用以下编码规则:

编码部分含义可选值说明
CX-PRN14产品系列固定皮拉尼冷阴极复合真空计
第一位字母真空接口类型A, B, C, DA: KF25, B: KF40, C: CF25, D: CF35
后两位数字电控配置0000: 标准全配置,  

选型指南

根据您的应用场景选择合适的型号:

应用场景推荐型号推荐理由
一般工业真空监测CX-PRN14 A00KF25接口通用性强,全功能配置,性价比高
大流量真空系统CX-PRN14 B00KF40接口,减少流阻,提高测量响应速度
超高真空研究CX-PRN14 C00CF25法兰,适用于超高真空系统,密封性能好
大型真空腔室CX-PRN14 D00CF35法兰,适用于大尺寸真空腔室的压力监测

温馨提示: 如果您不确定如何选择合适的型号,我们的技术团队可以提供免费的选型咨询服务。请提供您的应用场景、真空度范围、介质类型和接口要求等信息。

主要技术参数

测量范围 空气/N₂
反应时间 <100ms
真空接口 KF25
真空范围 1.0×10⁻⁵ ~1.0×10⁵ Pa
环境温度 0℃ ~ +45℃
环境湿度 5% ~ 85% RH,不结露
显示 5位LED,单位Pa/Torr/mBar可选
模拟量输出 0.0 V ~ +10.0 V DC (对应全量程),最小负载阻抗 10 Ω
数字通讯 RS485 (非隔离),支持Modbus-RTU协议,波特率9600 bps
控制输出 2路可编程光耦开关,最大30V/50mA
供电电源 24 VDC ±5%,额定电流0.5A,最大功耗5.0W
防护等级 IP40 (IEC 529)
接液材质 SS304不锈钢,可伐合金(Kovar 4150),钨丝,馈通玻璃

注:以上参数为标准配置,可根据客户需求定制特殊规格产品。

应用领域

CX-PRN14 全量程复合真空计凭借其宽量程、高可靠性及灵活的通讯方式,适用于多种需要对真空环境进行精密监控的场景。

半导体与光伏

用于PVD/CVD、刻蚀、离子注入等设备的工艺腔室真空度监测。

制药与生物技术

用于冻干机、灭菌柜、生化反应器等设备的真空控制与验证。

实验室研究

用于材料科学、表面物理、化学合成等研究设备的真空系统监控。

真空镀膜与热处理

用于光学镀膜、工具镀膜、真空钎焊、烧结炉的真空度测量。

医疗器械

用于真空包装机、血液分析仪、呼吸机等医疗设备的真空模块。

新能源与储能

用于锂电池真空烘烤、燃料电池测试、真空绝热板(VIP)生产。

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