直接测量流体质量流量的精密仪器，适用于气体和液体的精确计量与控制。
准确度±1%F.S，重复精度±0.2%F.S，确保流量测量精度
316L不锈钢材质，氟橡胶密封，适用于多种气体介质
响应时间1-4秒，实时监测和控制流量变化
RS485 MODBUS协议，4-20mA/0-5V模拟量输出，灵活适配各种系统
质量流量控制器（Mass Flow Controller 缩写为 MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
准确度±1%F.S，重复精度±0.2%F.S，线性±0.5-1.5%F.S
响应时间1-4秒，电特性10秒，实时监测和控制流量变化
RS485 MODBUS协议，4-20mA/0-5V模拟量输出，DB15电气连接
CX系列气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成——速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。
质量流量控制器、质量流量计出厂时一般用空气或者氮气标定，实际使用中如果是其他气体，必要时可进行读数修正，方法是以流量显示仪显示的流量乘以流量转换系数。
| 气体 | 代号 | 转换系数 | 气体 | 代号 | 转换系数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 空气 | 008 | 1.006 | 氮气 | 001 | 1.415 |
| 氩气 | 004 | 1.415 | 氮气 | 013 | 1.000 |
| 氧气 | 015 | 0.992 | 氢气 | 007 | 1.010 |
| 二氧化碳 | 025 | 0.737 | 甲烷 | 028 | 0.719 |
| 氨气 | 029 | 0.719 | 氦气 | 002 | 1.415 |
注：以上为部分常用气体的转换系数，完整的气体转换系数表请参考产品说明书。对于混合气体，其转换系数需按特定公式计算。
CX系列提供多种型号的气体质量流量计和控制器，覆盖从≤10 SCCM到3000 SLM的流量范围，满足不同应用需求。
| 型号代码 | 流量范围 | 供电电压 | 输出信号 | 显示 | 通讯 | 精度 | 连接方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F1 | ≤10 SCCM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F2 | 10 SCCM - 30 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F3 | 30 - 150 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F4 | 150 - 250 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F5 | 300 - 1000 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F6 | 1000 - 2000 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F7 | 2000 - 3000 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| 型号代码 | 流量范围 | 供电电压 | 输出信号 | 显示 | 通讯 | 精度 | 连接方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F1 | ≤10 SCCM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F2 | 10 SCCM - 30 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F3 | 30 - 150 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F4 | 150 - 250 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F5 | 300 - 1000 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F6 | 1000 - 2000 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F7 | 2000 - 3000 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| 型号代码 | 流量范围 | 供电电压 | 输出信号 | 显示 | 精度 | 连接方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| GMFC-CXC-A-N-A1-F1 | ≤10 SCCM | ±15V / 24V | 0-5V / 4-20mA | 无显示 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFC-CXC-A-N-A1-F2 | 10 SCCM - 30 SLM | ±15V / 24V | 0-5V / 4-20mA | 无显示 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFC-CXC-A-N-A1-F3 | 30 - 150 SLM | ±15V / 24V | 0-5V / 4-20mA | 无显示 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| 型号代码 | 流量范围 | 供电电压 | 输出信号 | 显示 | 精度 | 连接方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| GMFM-CXC-A-N-A1-F1 | ≤10 SCCM | 24V | 0-5V / 4-20mA | 无显示 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFM-CXC-A-N-A1-F2 | 10 SCCM - 30 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | 无显示 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFM-CXC-A-N-A1-F3 | 30 - 150 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | 无显示 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| 代码 | 含义 | 说明 |
|---|---|---|
| GMFC | 气体质量流量控制器 | 带控制功能 |
| GMFM | 气体质量流量计 | 仅测量功能 |
| CXB | 数显系列 | 带LCD显示和通讯功能 |
| CXC | 模拟系列 | 无显示，模拟信号输出 |
| 代码位置 | 代码 | 含义 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 输出信号 | 4 | 4-20mA输出 | 电流信号输出 |
| 通讯接口 | R4 | RS485通讯 | MODBUS协议 |
| 显示类型 | D | LCD显示 | 数显功能 |
| 显示类型 | N | 无显示 | 模拟型号 |
| 信号类型 | A1 | 0-5V输出 | 电压信号输出 |
| 流量范围 | F1 | ≤10 SCCM | 微小流量 |
| 流量范围 | F2 | 10 SCCM - 30 SLM | 小流量 |
| 流量范围 | F3 | 30 - 150 SLM | 中等流量 |
| 流量范围 | F4 | 150 - 250 SLM | 大流量 |
| 流量范围 | F5 | 300 - 1000 SLM | 超大流量 |
| 流量范围 | F6 | 1000 - 2000 SLM | 工业级流量 |
| 流量范围 | F7 | 2000 - 3000 SLM | 特大型流量 |
选择适合的气体质量流量计/控制器型号时，请考虑以下因素：
| 应用场景 | 推荐型号系列 | 理由 |
|---|---|---|
| 实验室研究 | GMFC-CXB / GMFM-CXB F1-F2系列 | 小流量范围，高精度测量，LCD显示，适合实验室环境 |
| 半导体工艺 | GMFC-CXB F1-F3系列 | 精确控制，RS485通讯，适合工艺气体控制 |
| 工业过程控制 | GMFC-CXB F3-F5系列 | 中等流量，稳定可靠，适合工业环境 |
| 环保监测 | GMFM-CXB F2-F4系列 | 流量测量，数据记录，RS485通讯 |
| OEM设备集成 | GMFC-CXC / GMFM-CXC系列 | 无显示，体积小巧，适合设备内置 |
| 大型工业装置 | GMFC-CXB F5-F7系列 | 大流量控制，工业级可靠性 |
温馨提示：所有产品均采用氮气标定，如使用其他气体需进行系数转换。如果您不确定如何选择合适的型号，我们的技术团队可以提供免费的选型咨询服务。请提供您的应用场景、介质特性、流量范围、精度要求和安装环境等信息。
| 测量精度 | ±1%F.S |
|---|---|
| 工作温度 | 0-70℃ |
| 量程范围 | 0~3000SLM |
| 工作压差 | 0.1-0.5MPa |
| 工作温度 | 0-70℃ |
| 耐压 | 3MPa（高压定制咨询工程师） |
| 数字量 | RS485 MODBUS 协议 |
| 模拟量 | DC 0-5V , 4-20mA 可选 |
| 供电 | DC +15V/24V 可选，流量计<400mA，控制器<600mA |
| 底座材质 | 316L 不锈钢 |
| 密封材质 | 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶 |
| 气路接头 | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8″, 1/4″, 3/8″ |
注：以上参数为标准配置，可根据客户需求定制特殊规格产品。
CX系列气体质量流量计/控制器广泛应用于各种工业领域，特别适合需要精密气体流量测量和控制的场合。
用于扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入等工艺
用于化工过程控制、反应釜加注、混气配气系统
用于制药过程中气体流量精密控制和监测
用于环境监测、废气处理系统中的气体流量测量
用于实验室研究、分析仪器、气相色谱仪等
用于真空镀膜、真空炉等设备中的气体流量控制
用于太阳能电池板制造过程中的气体流量精确控制
用于呼吸机、麻醉机等医疗设备中的气体输送控制
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